SINGULUS TECHNOLOGIES hat einen Auftrag für eine neu entwickelte PECVD-Beschichtungsanlage (PECVD: Plasma enhanced chemical vapor deposition) für die Prozesse bei der Herstellung von Galliumarsenid (GaAs)-Solarzellen von AZUR SPACE, Deutschland, erhalten.
SINGULUS TECHNOLOGIES setzt bei der PECVD-Beschichtungstechnik, d. h. bei der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung, auf die ICP-Technik. ICP, induktiv gekoppeltes Plasma, ist ein Verfahren, das eine hohe Elektronendichte mit einer zugleich großen Plasmareinheit bietet. SINGULUS TECHNOLOGIES hat auf der Basis dieser Technologie eine neue Plasmaquelle entwickelt. Mit der ICP-Quelle von SINGULUS TECHNOLOGIES werden in der Beschichtungsanlage sog. dielektrische Schichten auf das Ausgangsmaterial der GaAs-Solarzellen aufgebracht.
Dr.-Ing. Stefan Rinck, Vorstandsvorsitzender der SINGULUS TECHNOLOGIES AG: "Wir freuen uns sehr darüber, dass unsere PECVD-Plasmaquelle nach längerer Prüfung aufgrund ihrer Performance von AZUR SPACE ausgewählt wurde. Der PECVD-Beschichtungsschritt ist ein sehr entscheidender Schritt für die Qualität der GaAs-Solarzellen." GaAs-Solarzellen zeichnen sich durch ihren besonders hohen Wirkungsgrad von über 30% aus und werden in der Raumfahrt für die Energieerzeugung bei Satelliten verwendet.
AZUR SPACE Solar Power GmbH ist der internationale Marktführer und ein Global Player bei der Entwicklung und Produktion von Mehrfachsolarzellen für Weltraum-PV und terrestrischen CPV-Anwendungen. AZUR SPACE setzt die PECVD-Beschichtungsanlage für die Herstellung von GaAs-Solarzellen für Anwendungen im Weltraum ein.
SINGULUS TECHNOLOGIES entwickelt und baut innovative Maschinen und Anlagen für effiziente und ressourcenschonende Produktionsprozesse, die weltweit in den Bereichen Solar, Halbleiter, Medizintechnik sowie Consumer Goods und Datenspeicher eingesetzt werden.
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Foto: Dr.-Ing. Stefan Rinck © SINGULUS TECHNOLOGIES AG
